VLSI Standards
石英台阶高度标准样片 SHS
Step Height Standards (Quartz)
校准标准NIST轮廓仪
用于机械式与光学轮廓仪的台阶高度校准
可选规格
28 个可询型号 · 台阶高度 / 镀层
Standards & Test Samples
标准与测试样品
用于量测设备与 AFM/SPM 校准、性能验证和日常检查的参考样品，覆盖尺寸、膜厚、形貌、颗粒与电学参数
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品牌
VLSI Standards
超厚台阶高度标准样片 UTSHS
Ultra Thick Step Height Standards
校准标准PTB轮廓仪
用于机械式或光学轮廓仪的大台阶高度（100 µm 以上）校准
可选规格
3 个可询型号 · 台阶高度
VLSI Standards
自动装载台阶高度标准样片 ALSHS
AutoLoad Step Height Standards
校准标准NIST轮廓仪AFM
用于自动晶圆搬运轮廓仪及 AFM 的台阶高度校准
可选规格
30 个可询型号 · 台阶高度 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
表面形貌标准样片 STS
Surface Topography Standards
校准标准NISTAFM光学干涉显微镜
用于 AFM 及光学干涉显微镜的三维表面形貌与扫描线性度校准
可选规格
8 个可询型号 · 周期组合 / Z 向高度
VLSI Standards
表面形貌参考样片 STR
Surface Topography References
参考样片AFM
用于 AFM 等形貌工具的成像确认、扫描线性度检查与长期稳定性监控
可选规格
8 个可询型号 · 周期间距 / Z 向高度
VLSI Standards
NanoCD 线宽标准样片 NCD
NanoCD Standards
校准标准TEMCD-AFMCD-SEM特殊载体
用于 CD-AFM 与 CD-SEM 的关键尺寸（CD）精度校准与工具匹配
可选规格
2 个应用版本 · 21 个可询型号
VLSI Standards
NanoLattice 周期标准样片 NLSM
NanoLattice Pitch Standard
校准标准NISTCD-SEMAFM特殊载体
用于 CD-SEM 与 AFM 的周期间距、倍率及扫描线性度校准
可选规格
3 个应用版本 · 12 个可询型号
VLSI Standards
二氧化硅薄膜厚度标准样片 FTS
Silicon Dioxide Film Thickness Standards
校准标准NIST椭偏仪反射仪
用于椭偏仪与反射仪的 SiO₂ 薄膜厚度校准
可选规格
52 个可询型号 · 薄膜厚度 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
氮化硅薄膜厚度标准样片 NFTS
Silicon Nitride Film Thickness Standards
校准标准NIST椭偏仪反射仪
用于椭偏仪与反射仪的 Si₃N₄ 薄膜厚度校准
可选规格
20 个可询型号 · 薄膜厚度 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
二氧化硅污染颗粒标准样片 SCS
Silica Contamination Standards
校准标准SI 可溯源颗粒检测系统
用于 UV / DUV 颗粒检测设备的二氧化硅颗粒尺寸校准
可选规格
6 个可询型号 · 颗粒尺寸 / 颗粒数量 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
Silica Leopard 多点二氧化硅污染颗粒标准样片 SLCS
Silica Leopard Contamination Standards
校准标准颗粒检测系统
用于同一晶圆多点覆盖不同二氧化硅粒径范围的颗粒尺寸校准
可选规格
2 个可询型号 · 晶圆尺寸 / 二氧化硅球径范围
VLSI Standards
绝对污染颗粒标准样片 ACS
Absolute Contamination Standards
校准标准NIST颗粒检测系统
用于裸硅晶圆颗粒检测设备的 PSL 微球粒径校准
可选规格
49 个可询型号 · 颗粒直径 / 晶圆尺寸 / 颗粒数量
VLSI Standards
Leopard 多点污染颗粒标准样片 LCS
Leopard Contamination Standard Particle Size Analysis
校准标准NIST颗粒检测系统
用于同一晶圆多点覆盖不同 PSL 粒径范围的颗粒尺寸校准
可选规格
11 个可询型号 · PSL 粒径范围 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
电阻率标准样片 RS
Resistivity Standard
校准标准NIST接触/非接触
用于四探针及非接触式仪器的电阻率与方阻校准
可选规格
19 个可询型号 · 电阻率 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
ITO 方阻标准样片 ITOSRS
ITO Sheet Resistance Standards
校准标准NIST接触/非接触
用于 LCD、触控屏等行业 ITO 薄膜方阻测量工具校准
可选规格
2 个可询型号 · 方阻
NANOSENSORS
XY 横向周期标准样片
2D Pitch-Grating Lateral (XY) Calibration Standards
校准标准PTB 合作开发AFM特殊开发
用于 AFM/SPM 扫描器的 XY 横向周期校准
可选规格
2 个可询型号 · 名义周期
BudgetSensors
XYZ 三维校准纳米光栅 CS-20NG
CS-20NG XYZ Calibration Nanogrid
校准标准AFM
用于 AFM 扫描器的 X/Y 横向与 Z 向校准
可选规格
2 个可询型号 · 安装方式
BudgetSensors
高度校准标准样片 HS
HS Height Calibration Standards
校准标准AFM
用于 AFM 的 Z 轴高度校准，兼顾较大扫描范围的 X/Y 校准
可选规格
6 个可询型号 · 名义台阶高度 / 安装方式
MikroMasch
XYZ 校准光栅 TGXYZ
TGXYZ Series Calibration Gratings
校准标准AFM
用于 AFM/SPM 扫描器的 XYZ 校准与垂直非线性补偿
可选规格
6 个可询型号 · 名义台阶高度 / 安装方式
MikroMasch
横向校准光栅 TGX
TGX Calibration Grating
校准标准AFM针尖
用于 AFM 扫描器横向校准与针尖纵横比测定
可选规格
2 个可询型号 · 安装方式
MikroMasch
梯形结构校准光栅 TGF11
TGF11 Trapezoidal Calibration Grating
校准标准AFM
用于 AFM/SPM 扫描器垂直非线性评估与横向力校准
可选规格
2 个可询型号 · 安装方式
BudgetSensors
AFM 针尖状态评价样品 TipCheck
TipCheck AFM Tip Evaluation Sample
测试样片AFM针尖
用于快速比较 AFM 针尖的锋利程度，识别磨损或钝化
可选规格
2 个可询型号 · 安装方式
MikroMasch
AFM 针尖表征样品 PA01
PA01 AFM Tip Evaluation Sample
测试样片AFM针尖
用于 AFM 针尖形状表征与反向成像
可选规格
2 个可询型号 · 安装方式
BudgetSensors
KPFM / EFM 电学模式测试样品
KPFM & EFM Sample
测试样片AFMKPFMEFM
用于 KPFM 与 EFM 模式的响应检查和电学对比验证
可选规格
2 个可询型号 · 安装方式
MikroMasch
高定向热解石墨参考样品 HOPG
HOPG Highly Ordered Pyrolytic Graphite
参考样片HOPG石墨AFM / STM
用于 SPM 参考基底与表面成像，提供 ZYA、ZYB、ZYH 三种镶嵌度等级
可选规格
3 个样品等级 · 8 个可询型号